Doppelrekord: größtes Reinraumprojekt in kürzester Zeit fertig gestellt

Stellen Sie sich 16 Fußballfelder am Stück vor – und das Ganze dann unter Reinraumbedingungen, dann ahnen Sie ein bisschen, was dieses Projekt bedeutet. 133.000 Quadratmeter Reinraumfläche haben wir innerhalb von 12 Monaten für unseren Kunden AU Optronics erstellt, der in Taichung (Taiwan) modernste Flachbildschirme erstellt.

Ein neuer Superlativ in der Geschichte unseres Unternehmens. Zum Vergleich: Die Reinraumfläche der neuen Fab 36 von AMD in Dresden beträgt 13.000 Quadratmeter.

Genau 12 Monate nach dem Spatenstich konnten die ersten Prozessgeräte angeschlossen werden. Mit der Lieferung des modernsten Sputtering-Systems (Kathodenzerstäuberanlage) begann Anfang August 2004 die Phase des Equipment Hook up.

Um diese Anlage zu transportieren, bedurfte es des Einsatzes des größten Flachflugzeugs der Welt, einer Antonov AN-225. Noch ein Rekord – für den wir allerdings nicht verantwortlich sind. Die gesamte Sputtering-Anlage misst zusammengebaut 40 x 10 Meter und ist maßgeschneidert für die Produktion der Glas-Substrate von AU Optronics.

Die 133.000 Quadratmeter Reinraumfläche verteilen sich auf drei Ebenen mit jeweils über 40.000 Quadratmetern Prozess- und Supportbereiche.

M+W Zander ist verantwortlich für die Planung und den Bau der gesamten Reinraumanlagen. In der Fab, die im Science Parc in Taichung entsteht, wird AU Optronics Flachbildschirme für großformatige TV-Geräte produzieren. Die Massenproduktion soll im zweiten Quartal 2005 starten.

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