Präzisionsklimageräte

Sensible Prozesse in der Halbleiterfertigung verlangen äußerst genaue und reproduzierbare Luftbedingungen in der unmittelbaren Produktionsumgebung. Für die verschiedensten Prozessschritte bei der Mikrochipherstellung bietet M+W Zander Lösungen an, um physikalische Zustandsgrößen wie Lufttemperatur, Luftfeuchte, Luftdruck und chemische Kontamination in der Prozessluft konstant zu halten.

Aufgrund unserer jahrzehntelangen Erfahrungen in der Lüftungs- und Klimatechnik sowie der Reinraumtechnik für die Halbleiterfertigung haben wir hochpräzise Geräte und Anlagen entwickelt, die es ermöglichen, die Prozesslufttemperatur mit Genauigkeiten von wenigen Milli-Kelvin sowie die Luftfeuchte unter 1% relative Feuchte konstant zu halten. Bei Bedarf kann auch eine Druckkonstanthaltung von weniger als 3 Pa realisiert werden.
Für die Abscheidung von gasförmigen Verunreinigungen (sogenannte Airborne Molecular Contamination AMC) aus der Prozessluft setzen wir unsere speziell dafür entwickelten chemischen Filter ein. Typische Anwendungen für diese hochspezialisierten Anlagen sind Klimatisierungsmodule für Stepperbelüftungen, Klimakammern für Wafer- und Maskenmeßsysteme, Prozesseinhausungen für Belacker- und Entwicklungsmaschinen.

Zu unseren Kunden gehören sowohl die namhaften Mikrochipproduzenten als auch die führenden Hersteller von Prozessgeräten für die Halbleiterfertigung. In enger Zusammenarbeit mit dem Kunden entwickelt, testet und evaluiert M+W Zander maßgeschneiderte Präzisionsklimaanlagen und -komponenten und stellt diese später in einer Serienfertigung auch her. Die Komponenten werden gemeinsam mit den Produktionsanlagen des Kunden zertifiziert (SEMI Standard, UL-Listing, CSA Approval). Die hohen Qualitätsanforderungen unserer Kunden verlangen eine Fertigstellung und Verpackung der Anlagen unter Reinraumbedingungen. Vor der Auslieferung wird jede Anlage in einem umfangreichen Abnahmetest durchgemessen und die Meßergebnisse dokumentiert, um die einwandfreie Funktion der Anlagen und die vereinbarten Spezifikationen der Komponenten nachzuweisen.

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