Leistungsspektrum

Analysen

• Messung luftgetragener molekularer Kontaminationen (AMC)
• Ausgasungsuntersuchungen von Materialien (Kohlenwasserstoffe, organische Stoffe) mit GC-FID, GC-MS
• Messung ionischer Kontaminationen in Reinstwasser und Prozesschemikalien mit IC und ICP-MS
• Untersuchung chemisorptiver und adsorptiver Filtermedien (Abscheidegrad, Standzeit, Druckverlust)
• Energieverbrauchsanalyse gebäudetechnischer Anlagen und Komponenten
• Mikrobiologische Untersuchungen in Luft, Wasser und auf Oberflächen
• Analyse partikulärer Kontaminationsquellen
• Partikelmessungen in Gasen und Flüssigkeiten
• CFD-Strömungssimulation (Geschwindigkeits-, Temperatur- und Konzentrationsverlauf)
• Strömungsvisualisierung

Konzepterstellung und Systembewertung

• Umluftsysteme
• Außenluftversorgung
• Prozessfortluftbehandlung mit zentralen und lokalen Anlagen
• Bilanzerstellung
• Emissionsprognose für Halbleiterfabriken
• Luftionisierung im Reinraum
• Begrenzung luftgetragener molekularer Kontaminationen (AMC)
• Energieversorgungskonzepte (BHKW und konventionelle Anlagen)

Produkt- und Systementwicklung

• Adsorptive und chemisorptive Filter für die Außen- und Prozessfortluftbehandlung
• Präzisionsklimageräte und -kabinen, z.B. für die Versorgung von Anlagen und Geräten für die Halbleiterproduktion
• Reinraumtechnische Komponenten
• Software für die Steuerung, Überwachung und Visualisierung von Aktoren und Sensoren in der Reinraumtechnik
• Zentrale und dezentrale Umluftsysteme für die Reinstluftversorgung, z.B. in der Mikroelektronik- und Pharmaindustrie
• Anlagen für die Prozessfortluftbehandlung

Qualifizierung und Zertifizierung

• Zertifizierung von Reinräumen und Prozessversorgungssystemen
• Regelmäßige Inspektion und Requalifizierung von Reinräumen und reinen Werkbänken
• Qualifizierung von Reinraumkomponenten gemäß VDI 2083, Blatt 8
• Qualitätsnachweis von Schwebstofffiltern (HEPA und ULPA)
• Zertifizierung und Qualifizierung von Reinstwasseranlagen und Verteilungssystemen (Ionen, organische Stoffe, Partikel, TOC, Silikat, ...)
• Qualifizierung von Ionenaustauscherharzen, Rohrmaterialien und anderen Reinstwasserkomponenten bezüglich des Auslaugverhaltens

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